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基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱：同惠TONGHUI TH2695高阻表靜電計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2025-11-03

產(chǎn)品簡介：

同惠TONGHUI TH2695高阻表靜電計(jì)應(yīng)用
材料特征測試：半導(dǎo)體、納米材料、聚合物材料、陶瓷、生物材料、橡膠、薄膜
電子元器件泄漏電流和絕緣電阻測試
半導(dǎo)體和其它器件I-V特性測量
體電阻/表面電阻率測量

產(chǎn)品特性Product characteristics

“精"——上海市先JIN企業(yè)!

“專"——專注工業(yè)測試十六年!

“特"——德國萊茵TUV認(rèn)證供應(yīng)商!

“新"——注冊資本實(shí)繳壹仟萬元!實(shí)繳資金行業(yè)中居前茅!抗金融風(fēng)險(xiǎn)能力強(qiáng)!

同惠TONGHUI TH2695高阻表靜電計(jì)TH2695A TH2690 TH2690A TH2690H TH2691 TH2691A TH2691H應(yīng)用領(lǐng)域

材料特征測試   半導(dǎo)體、納米材料、聚合物材料、介質(zhì)材料、電化學(xué)材料、鐵電材料、石墨烯、陶瓷、生物材料、橡膠、薄膜、金屬、有機(jī)材料等

電子元器件泄漏電流和絕緣電阻測試：電容器、電阻器、二極管、晶體管、傳感器、TFT和CNT等類型、光電器件、納米器件、太陽能電池、開關(guān)、繼電器等

電子/非電子系統(tǒng)：離子束、電子束、傳感系統(tǒng)、粒子測量、嵌入式精密儀器等

第三代半導(dǎo)體材料和器件I-V特性測量

體電阻/表面電阻率測量

容性器件及材料快速充電測試

TH2690系列飛安表/皮安表/靜電計(jì)/高阻計(jì)提供了行業(yè)的測量功能。飛安表/靜電計(jì)具有0.01fA(10^-17A)最小電流分辨率，可滿足大部分場景的微弱電流測量需求。高阻計(jì)內(nèi)置的3000V/1500V電壓源支持測量高達(dá)3/1.5EΩ(10¹⁸Ω)的電阻。

針對(duì)不同的測試對(duì)象和測試環(huán)境，同惠還提供各種適配的附件。

與傳統(tǒng)的皮安表和高阻計(jì)不同，TH2690系列采用5吋彩色LCD電容觸摸屏，使操作更直觀便捷。  

TH2690系列還提供多種視圖模式以便用戶觀察數(shù)據(jù)。除數(shù)字格式外，測量數(shù)據(jù)還可以轉(zhuǎn)換為直方圖及趨勢圖的形式，使用戶能即時(shí)查看測量數(shù)據(jù)的分布規(guī)律或變化趨勢。

簡要介紹

  5.0英寸電容式觸摸屏

  6?位測量分辨率

  四種測量模式：高阻儀、電壓表、電流表、靜電計(jì)

  獨(dú)立的電流和電壓測量

  內(nèi)置電壓源：±3000V/±1500V/±1000V

  電流量程：2pA-20mA，電流分辨率達(dá)0.01fA(10-17A)

  測量電阻最高達(dá)3EΩ(1018Ω)

  電壓建立時(shí)間10ms以內(nèi)

  支持脈沖輸出，最小可設(shè)置脈寬10ms，脈寬設(shè)置分辨率1ms

  可編程電壓輸出，內(nèi)置多種電壓掃描波形

  源-測量同步功能，同步誤差時(shí)間小于1ms

  電流量程內(nèi)的內(nèi)阻壓降＜20μV

  低至2nC量程的電荷測量

  支持電壓測量達(dá)20V/1500V/3000V

  溫度和濕度測量

  時(shí)域視圖，捕獲瞬態(tài)信號(hào)效應(yīng)和選擇指定測量數(shù)據(jù)

  支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄

  配置專用屏蔽測試盒

隨機(jī)附件：

三芯電源線

TH26017 USB接口電纜

TH26058C φ4插孔短路插頭（TH2695/TH2695A無）

TH26058D 連接線纜

TH26058F φ4鱷魚夾（紅黑各一個(gè)）

TH26058G φ4防電燈籠插線纜（雙頭線纜，紅黑各一根）

TH26058H 三同軸開路帽

TH26058R 連接線纜（TH2691/TH2691A/TH2695/TH2695A無）

TH26058S 高壓BNC轉(zhuǎn)鱷魚夾射頻測試線（僅TH2695/TH2695A）

TH2690_THS 溫濕度傳感器（TH2691/TH2691A無）

選件：

TH26090 電阻率測試夾具

TH26076B 屏蔽盒

TH26058J φ4接線柱

TH26058E φ4燈籠表筆（紅黑各一）

TH26058B 三同軸轉(zhuǎn)鱷魚夾電纜（1.5m）

TH26058Q 三同軸電纜

TH26058P 三軸BNC座

TH26058K BNC公頭轉(zhuǎn)TRB母頭轉(zhuǎn)接器（E1）

TH26058L  BNC公頭轉(zhuǎn)TRB母頭轉(zhuǎn)接器（E2）

TH26058M BNC公頭轉(zhuǎn)TRB母頭轉(zhuǎn)接器（E3）

TH26058N TRB母頭轉(zhuǎn)TRB母頭轉(zhuǎn)接器

0.01fA的電流測量分辨率

在研究材料特性或判定器件性能時(shí)，經(jīng)常需要測量fA/EΩ等極限電流、電阻，而傳統(tǒng)的數(shù)字萬用表（DMM）無法達(dá)到，TH2690系列飛安表/靜電計(jì)提供了行業(yè)的0.01fA電流測量分辨率及3EΩ(10¹⁸Ω)電阻測量，實(shí)現(xiàn)了材料測量，可滿足現(xiàn)在及將來的測量需求。

5000讀數(shù)/秒的數(shù)據(jù)讀取速率

量速度一般由積分設(shè)置中的積分周期決定，積分周期通常為工頻周期(PLC)的整數(shù)倍。在能夠提供充足的平均次數(shù)來避免工頻噪聲對(duì)測量的影響的前提下，積分周期顯然越短越好。

由于傳統(tǒng)儀器的讀取速率相對(duì)緩慢，無法捕獲到快速瞬態(tài)信號(hào)。TH2690系列數(shù)據(jù)讀取速率可達(dá)5000讀數(shù)/秒，配合波形功能，可捕獲到更精細(xì)的被測器件響應(yīng)。

 測試結(jié)果波形顯示

TH2690系列可以將測試結(jié)果在主界面以圖形方式實(shí)時(shí)地顯示，展示被測件（DUT）的動(dòng)態(tài)特性。圖形分曲線圖和直方圖兩種。

右圖為設(shè)置界面：

        1.曲線圖 (時(shí)基視圖)顯示

TH2690系列可以便捷地繪制多種曲線圖，包括I-t、V-t、R-t、Q-t和I-R等(特定的圖形顯示功能取決于所使用的產(chǎn)品型號(hào))。進(jìn)行敏感測量時(shí)，這種強(qiáng)大且全面的圖形顯示能力可使您更容易地獲取有價(jià)值的數(shù)據(jù)。

        2.直方圖顯示

任何測量環(huán)境中都會(huì)存在一定的噪聲波動(dòng)，因此低電平測量數(shù)據(jù)都會(huì)帶有一定的統(tǒng)計(jì)不確定性。傳統(tǒng)的處理方法是在測量結(jié)束后繪制直方圖對(duì)測量數(shù)據(jù)進(jìn)行評(píng)估(通常在電腦上)。然而，如果您需要執(zhí)行多次測量和測試設(shè)置調(diào)試周期，這個(gè)過程將會(huì)變得冗長。

TH2690系列具有實(shí)時(shí)的、自動(dòng)標(biāo)尺的直方圖顯示功能，使您能及時(shí)調(diào)試測量設(shè)置而無需在測量后再進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。直方圖顯示于測量數(shù)據(jù)之下，方便您對(duì)比直方圖上的累積數(shù)據(jù)與實(shí)時(shí)測量數(shù)據(jù)。

電壓源波形輸出

TH2690可以設(shè)定輸出單階梯波、雙階梯波、方波以及自定義列表輸出。點(diǎn)擊設(shè)定-源設(shè)定選項(xiàng)卡進(jìn)行設(shè)定。設(shè)定界面分別如下：

其中方波模式支持脈沖輸出，最小可設(shè)置脈寬10ms，脈寬設(shè)置分辨率1ms。

分選功能

TH2690可以對(duì)測試結(jié)果進(jìn)行判定分選。有分級(jí)（Grading）和分類（Sorting）兩種模式可選，最多可設(shè)置7個(gè)判定條件。設(shè)定界面如右圖：

其中分級(jí)（Grading）模式是指執(zhí)行極限判定直到遇到失敗跳出，輸出當(dāng)前失敗位，否則繼續(xù)下一個(gè)極限判定，若全部合格，則輸出最后一個(gè)合格位。

分類（Sorting）模式是指執(zhí)行極限判定直到遇到合格跳出，輸出當(dāng)前合格位，否則繼續(xù)下一個(gè)極限判定，若全部失敗，則輸出最后一個(gè)失敗位。

HANDLER接口定義

1,2,3為信號(hào)輸入腳，對(duì)應(yīng)上圖IN1，IN2，IN3。可以改變信號(hào)定義。

4,5,6,7為信號(hào)輸出腳，對(duì)應(yīng)上圖OUT4，OUT5，OUT6，OUT7。可以改變信號(hào)輸出模式。

•  錯(cuò)誤信息

當(dāng)儀器出現(xiàn)操作失誤或儀器自檢出錯(cuò)等問題時(shí)，在儀器下方信息欄會(huì)報(bào)錯(cuò)，點(diǎn)擊工具-錯(cuò)誤信息圖標(biāo)，在此處可查看報(bào)警信息，可根據(jù)提示進(jìn)行消除錯(cuò)誤。

•  專用溫濕度探頭提供更可靠的溫濕度數(shù)據(jù)

溫度和濕度是高值電阻測量中的關(guān)鍵參數(shù)。TH2690系列高阻計(jì)提供溫濕度傳感器接口，并配置了專用的溫濕度探頭。數(shù)字溫濕度探頭可用于測定溫度和濕度，提供比熱電偶更精確的溫度數(shù)據(jù)。

•  多種附件應(yīng)對(duì)不同的測試環(huán)境和被測件

TH2690系列配備了多種可選附件，以適配不同的被測件，進(jìn)一步提升其測試效果。主要包括電阻率測試盒和元件測試夾具。

電阻率測試盒配備多種尺寸的電極，可以用于測量不同規(guī)格材料的面電阻率和體電阻率。

元件測試夾具配備多種測試模塊，以應(yīng)對(duì)貼片器件、軸向引線器件等多種封裝的測量。

標(biāo)配附件

TH2690_THS 溫濕度傳感器

(TH2691/TH2691A無)

 TH26058F 

φ4鱷魚夾（紅黑各一個(gè)）

選件

TH26017

 USB接口電纜

TH26058G 

φ4防電燈籠插線纜

（雙頭線纜，紅黑各一根）

TH26058C 

φ4插孔短路插頭(TH2695/TH2695A無)

 TH26058H 

三同軸開路帽

TH26058R 

連接線纜

TH26058D 

連接線纜

(TH2691/TH2691A/

 TH2695/TH2695A無)

 TH26058S 

高壓BNC轉(zhuǎn)鱷魚夾射頻測試線

(僅TH2695/TH2695A)

 TH26090 

電阻率測試夾具

TH26076B

屏蔽盒

TH26058K

 TH26058B 

三同軸轉(zhuǎn)鱷魚夾電纜（1.5m）

TH26058N

 TRB母頭轉(zhuǎn)TRB母頭

轉(zhuǎn)接器

BNC公頭轉(zhuǎn)TRB母頭轉(zhuǎn)接器

（E1/E2/E3三種型號(hào)可選）

•  電阻率測量（選件）

TH26058E

 φ4燈籠表筆（紅黑各一）

TH26058P 

三軸BNC座

TH26058J

 φ4接線柱（紅黑各一）

TH26058Q

三同軸電纜

TH2690系列可選配TH26090選件，進(jìn)行電阻率測量。

a) 方案配置

型號(hào)

TH2695/A

 /TH2690/A/TH2690H

 /TH2691/A/TH2691H

 TH26090

名稱

飛安表/靜電計(jì)/高阻計(jì)主機(jī)

必選項(xiàng)

備注

?

電阻率測試盒

備注

TH2695固件升級(jí)至最新

?

 b) TH26090電阻率測試盒

功能        

測試電壓

測試電極

測試電流

接觸壓力

測量參數(shù)

說明

0-±1000V

 Φ26mm、Φ38mm、Φ50mm（標(biāo)配），共3種可選

0-10mA

 ≤10kg

表面電阻Rs、表面電阻率ρs、體電阻Rv、體電阻率ρv

 c) 體積電阻Rv、體積電阻率ρv測量

將電壓源Vs施加到上電極，指定流經(jīng)測試樣品的大電流為Im，隨后體積電阻Rv用公式Rv=Vs/Im計(jì)算。

從測試樣品流向保護(hù)電極的大電流和從上電極流向保護(hù)電極的表面電流都屬于泄露電流；然而這些電流都會(huì)進(jìn)入Vs的低側(cè)，不會(huì)對(duì)用于計(jì)算Rv的電流表電流(Im)的大小造成影響。

體積電阻率ρv可用公式ρv=EAR/STHxRv計(jì)算出，其中:

 EAR = Effective area 有效面積

STH = Sample thickness 樣品厚度。

d) 表面電阻Rs、表面電阻率ρs測量

將電壓源Vs施加到護(hù)環(huán)電極，在測試樣品表面上的電流從保護(hù)電極流向主電極，表面電流被指定為Im。

表面電阻Rs可用公式Rs=Vs/Im計(jì)算。

從護(hù)環(huán)流向上電極的電流是泄露電流；然而這個(gè)電流會(huì)流入Vs的低側(cè)，不會(huì)對(duì)用于計(jì)算Rv的電流表電流(Im)的大小造成影響。

表面電阻可用公式ρs=EPER/GLENxRs計(jì)算出，其中:

 EPER = Effective perimeter 有效周長

GLEN = Gap length 間隔長度

技術(shù)參數(shù)

同惠TONGHUI TH2695高阻表靜電計(jì) TH2695A TH2690 TH2690A TH2690H TH2691 TH2691A TH2691H

顯示

顯示器5.0英寸電容式觸摸彩色LCD顯示器

測量分辨率6?位

電流測量

量程精度分辨率備注

2pA ±(1%+5fA) 0.01fA適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690H /  TH2691H

 20pA ±(1%+5fA) 0.1fA適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 /  TH2690H / TH2691 / TH2691H

 200pA ±(0.5%+5fA) 0.1fA適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H / TH2691 / TH2691H

 2nA ±(0.2%+50fA) 1fA適用于 所有機(jī)型

20nA ±(0.2%+3pA) 10fA適用于 所有機(jī)型

200nA ±(0.2%+5pA) 100fA適用于 所有機(jī)型

2μA ±(0.1%+50pA) 1pA適用于 所有機(jī)型

20μA ±(0.05%+500pA) 10pA適用于 所有機(jī)型

200μA ±(0.05%+5nA) 100pA適用于 所有機(jī)型

2mA ±(0.05%+50nA) 1nA適用于 所有機(jī)型

20mA ±(0.05%+500nA) 10nA適用于 所有機(jī)型

電阻測量

量程精度分辨率備注

1MΩ ±(0.135%+1Ω) 1Ω適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

10MΩ ±(0.135%+10Ω) 10Ω適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

100MΩ ±(0.185%+100Ω) 100Ω適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

1GΩ ±(0.285%+1kΩ) 1kΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

10GΩ ±(0.41%+10kΩ) 10kΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

100GΩ ±(0.41%+100kΩ) 100kΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

1TΩ ±(0.45%+1MΩ) 1MΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

10TΩ ±(0.75%+10MΩ) 10MΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H 

100TΩ ±(2.6%+100MΩ) 100MΩ適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H 

量程電流量程電壓源備注

1MΩ 200μA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

10MΩ 20μA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

100MΩ 2μA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

1GΩ 200nA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

10GΩ 20nA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

100GΩ 2nA 20V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

1TΩ 2nA 200V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

10TΩ 200pA 200V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H 

100TΩ 20pA 200V適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690H 

最大測量電阻3000PΩ(1015) 1500PΩ(1015) 100PΩ 1000TΩ 1000PΩ-----

電壓測量（獨(dú)立輸入單元)

量程精度±(%+偏差)分辨率備注

2V ±(0.05%+40μV) 1μV適用于 TH2690 / TH2690A / TH2690H 

20V ±(0.05%+400μV) 10μV適用于 TH2690 / TH2690A / TH2690H 

150V ±(0.05%+300μV) 100μV適用于 TH2695A

 300V ±(0.05%+600μV) 100μV適用于 TH2695

 1500V ±(0.05%+300μV) 1mV適用于 TH2695A

 3000V ±(0.05%+6mV) 1mV適用于 TH2695

輸入阻抗>200TΩ-----

電荷測量（指標(biāo)在1s內(nèi)有效）

量程精度分辨率備注

2nC ±(0.5%+50fC) 1fC適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

20nC ±(0.5%+500fC) 10fC適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

200nC ±(0.5%+5pC) 100fC適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

2μC ±(0.5%+50pC) 1pC適用于 TH2695 / TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

微弱信號(hào)檢測儀器-高阻計(jì) 飛安計(jì) 靜電計(jì) 皮安表

電壓源

量程精度±(%+偏差)分辨率最大輸出電流備注

20V ±(0.05%+2mV) 1mV ±20mA適用于 TH2695A / TH2690 / TH2690A / TH2690H 

40V ±(0.05%+4mV) 1mV ±20mA適用于 TH2695

 200V ±(0.05%+20mV) 1mV ±10mA適用于 TH2695A 

400V ±(0.05%+40mV) 1mV ±10mA適用于 TH2695

 1000V ±(0.05%+100mV) 35mV ±1mA適用于 TH2690 / TH2690A / TH2690H 

1500V ±(0.05%+150mV) 1mV ±10mA適用于 TH2695A 

3000V ±(0.05%+300mV) 1mV ±10mA適用于 TH2695

電壓源功能直流、掃描(單掃描、雙掃描、列表掃描)、ARB(方波)-----

溫度測量范圍及精度-40℃-10℃ 1℃-----

10℃-55℃ 0.5℃-----

55℃-80℃ 1℃-----

濕度測量范圍及精度

0-20%RH 4％-----

20-80％RH 3％-----

80-100%RH 4％-----

視圖模式儀表視圖、圖形視圖、直方圖、滾動(dòng)視圖

測試端子

電壓輸入三軸BNC(TH2695/TH2695A為高壓BNC)-----

電流輸入三軸BNC

電壓輸出√-----

COMMON √

 GROUND香蕉座

接口

D/A輸出±2VFS

 HANDLER √

通訊接口RS232、USB DEVICE、USB HOST、LAN

傳感器輸入溫濕度-----

互鎖輸入√-----

環(huán)境溫度與濕度

使用溫濕度范圍0°C--45°C，30%--80%，無冷凝

存放溫濕度范圍-20°C--60°C，10%--90%，無冷凝

精度保證溫濕度23℃±5℃，30%-80%RH

預(yù)熱時(shí)間1小時(shí)

環(huán)境溫度變化自校準(zhǔn)后小于±3℃

校準(zhǔn)周期1年

一般指標(biāo)

電源AC：90V-264V,50/60Hz；或DC：127V-370V

功率60W

上架尺寸215(W)×88(H)×565(D) 215(W)×88(H)×412(D)

外形尺寸235(W)×111(H)×590(D) 235(W)×111(H)×440(D)

重量5.5kg 4kg 3.5kg

尺寸/重量

TH2695

上架體積（mm）： 215(W)×88(H)×565(D)

外型體積（mm）： 235(W)×111(H)×590(D)

凈重：5.5kg

 TH2695A

上架體積（mm）： 215(W)×88(H)×412(D)

外型體積（mm）： 235(W)×111(H)×440(D)

凈重：4kg

 TH2690/TH2690A/TH2690H

 /TH2691/TH2691A/TH2691H

上架體積（mm）： 215(W)×88(H)×412(D)

外型體積（mm）： 235(W)×111(H)×440(D)

凈重：3.5kg